规格参数

DEI-LI5800 激光干涉仪测量系统由德司智能联合精密计量技术开发，通过激光干涉原理实现纳米级分辨率位移测量，可对机床、机器人、测量设备进行定位精度、重复定位精度及几何误差的全面检定。

产品特点

• 1nm分辨率、±0.5ppm测量精度，满足高端装备计量需求；
• 内置ISO 230与GB 17421评定模块，自动生成检定报告；
• 支持线性、角度、直线度、垂直度多项目扩展测量；
• 便携光路设计，现场架设快捷，环境适应性好。

广泛应用于数控机床、三坐标测量机、精密运动平台、工业机器人及锂电装备的精度验收与周期检定，帮助装备制造企业建立完整的精度保障体系。